高分辨率双频激光回馈的位移测量方法

• 作者: 吴云 周鲁飞 张书练 张立
• 来源期刊: 北京交通大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 位移测量 双频激光 光回馈 细分
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 信息工程与应用数学
• 页码范围: 9-12
• 页数: 4页
• 分类号: TB921
• 字数: 2849字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-0291.2009.06.003

摘要

在分析双频激光回馈测量原理的基础上,提出了一种基于双频激光回馈原理的高精度位移测量方法,研究了双频激光回馈的基本现象并给出了理论依据,进一步在回馈光学系统基础上,对两路正交的光回馈条纹,利用电路进行细分处理:即5细分和4倍频电路相结合,细分产生的计数脉冲最后送入单片机进行计算及显示.采用可编程逻辑器件FPGA和单片机设计信号处理电路,利用FPGA实现4倍频细分,利用电阻链细分实现5细分.全部电路通过逻辑、时序仿真,验证了本方法的可行性.目前此系统可满足高精度位移测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张立	北京交通大学理学院	13	239	8.0	13.0
2	张书练	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	85	832	17.0	24.0
3	周鲁飞	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	18	2.0	3.0
4	吴云	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	3	1.0	1.0