基于Modelica的MEMS系统级多领域建模与仿真

• 作者: 胡伟 谢小柱 魏昕
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: Modelica 多领域仿真 面向对象 非因果关系模型 微型静电致动器
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1413-1416
• 页数: 4页
• 分类号: TP391.9
• 字数: 2798字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.10.009

摘要

分析了现有的MEMS系统级建模与仿真方法,讨论了运用Modelica语言进行面向对象的非因果关系建模方法,建立了基于Modelica的电容式微型静电致动器系统级模型,仿真结果证明了Modelica用于MEMS系统级多领域仿真的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢小柱	广东工业大学机电工程学院	73	422	11.0	16.0
2	胡伟	广东工业大学机电工程学院	57	313	10.0	14.0
3	魏昕	广东工业大学机电工程学院	111	782	15.0	22.0