掩膜微加工激光扫描单片机控制系统

• 作者: 徐国成 徐德生 李世权 郑毅
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 激光掩膜微加工 扫描控制 单片机 步进电机
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 激光应用与系统
• 页码范围: 71-72
• 页数: 2页
• 分类号: TN248.1
• 字数: 1488字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2009.05.030

摘要

文章介绍了以单片和两台步进电机组成的脉冲固体激光掩膜微加工扫描控制系统;包括系统的硬件设计和软件没计.根据掩膜加工的控制要求和80C196KC的特点,并结合程序流程图,对系统软件设计给出了详细说明.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑毅	吉林大学材料科学与工程学院	16	88	6.0	9.0
2	徐国成	吉林大学材料科学与工程学院	17	84	5.0	8.0
3	李世权	吉林大学材料科学与工程学院	6	17	2.0	4.0
4	徐德生	吉林大学材料科学与工程学院	9	65	2.0	8.0