原子力显微镜在PLD法制备ZnO薄膜表征中的应用

• 作者: 于永强 仇旭升 宣晓峰 李丽丽 梁齐 汪壮兵
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 脉冲激光沉积 原子力显微镜 X射线衍射 光致发光
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 63-68
• 页数: 6页
• 分类号: O482.31|TN304.055
• 字数: 3844字
• 语种: 中文

摘要

利用脉冲激光沉积(PLD)法在氧压为16 Pa、衬底温度为400～700 ℃时,在单晶Si(100) 衬底上制备ZnO薄膜,并通过原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)谱和光致发光谱对制得的薄膜样品进行表面形貌、结构特性和发光性质研究.其中通过原子力显微镜对样品的二维、三维以及剖面线图进行了分析.结果表明衬底温度700 ℃时得到的薄膜样品表面较均匀致密,晶粒生长较充分,结晶质量较高,相对发光强度高.控制氧压为5.7 Pa,在衬底温度为600 ℃,沉积时间分别为10,20,45 min制备ZnO薄膜样品;利用原子力显微镜对样品进行表面形貌观察,得知只有沉积时间足够长才能使薄膜表面晶粒充分生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于永强	合肥工业大学应用物理系	11	38	4.0	5.0
2	梁齐	合肥工业大学应用物理系	47	197	7.0	10.0
3	汪壮兵	合肥工业大学应用物理系	19	69	5.0	7.0
4	仇旭升	合肥工业大学应用物理系	4	12	3.0	3.0
5	李丽丽	合肥工业大学应用物理系	4	24	3.0	4.0
6	宣晓峰	合肥工业大学应用物理系	7	34	3.0	5.0