微球CH膜表面光洁度影响因素研究

• 作者: 何智兵 刘兴华 吴卫东 张宝玲 杨向东 林华平
• 来源期刊: 四川大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: CH膜 粗糙度 芯轴 碰撞 反弹盘表面材料
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 647-651
• 页数: 5页
• 分类号: O484.41
• 字数: 3150字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2009.03-026

摘要

采用低压等离子体化学气相沉积法(LPPCVD),在塑料微球表面制备了非晶碳氢(α-C:H)薄膜.利用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的表面形貌进行了分析.主要研究了芯轴表面形貌、碰撞、反弹盘表面材料、薄膜厚度等四个因素对微球CH涂层表面形貌的影响.结果表明:芯轴表面形貌对CH涂层的表面形貌影响很大,改善芯轴表面形貌可提高涂层表面光洁度;当反弹盘的表面材质不同时,制备出的微球涂层的表面粗糙度有不同程度的差别;碰撞是引起微球CH涂层表面榴状突起的重要原因之一;微球CH涂层表面粗糙度随膜厚增加而单调增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
2	杨向东	四川大学物理科学与技术学院	278	1103	14.0	21.0
3	何智兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	46	212	7.0	11.0
4	张宝玲	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	5	23	3.0	4.0
8	刘兴华	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	5	25	3.0	5.0
9	林华平	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	2	6	1.0	2.0