多线切割工艺中切割线直径对翘曲度影响的研究

• 作者: 冯涛 李保军
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多线切割 切割线直径 翘曲度
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 本期专题(硅片制造工艺与设备)
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 2016字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.08.004

摘要

目前,在硅单晶锭切割领域多线切割机已得到广泛的应用.切割砂浆及切割线在切割中有着极其重要的作用,不同的使用条件会直接影响切割晶片的几何参数.主要讨论切割线直径的不同对切割出晶片几何参数的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯涛	中国电子科技集团公司第四十六研究所	9	101	5.0	9.0
2	李保军	中国电子科技集团公司第四十六研究所	6	73	4.0	6.0