氮化硅掩膜法制备选择性发射极晶体硅太阳电池

• 作者: 张光春 张杰 李果华 杨健 汪义川 艾凡凡 贾积凯 陈如龙 顾晓峰 黄治国
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 晶体硅太阳电池 选择性发射极 PECVD 氮化硅掩膜
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 页码范围: 382-386
• 页数: 5页
• 分类号: TN3
• 字数: 3052字
• 语种: 中文

摘要

本文采用等离子增强化学气相沉积的方法在硅片表面镀一层约80 nm厚的氮化硅掩膜,然后使用传统的丝网印刷工艺将含有一定量磷酸的腐蚀浆料印刷在氮化硅掩膜表面,腐蚀出电极图形,经过三氯氧磷液态源扩散完成重扩,去除氮化硅掩膜后进行浅扩最终实现选择性发射极.丝网印刷腐蚀浆料开窗相对于激光熔融、等离子刻蚀和光刻等方法,具有高的产量、设备投资和运营成本低等优势,容易在现有生产线上实现.最后对比了选择性发射极晶体硅太阳电池和常规太阳电池的电性能和光谱响应,制备的选择性发射极晶体硅太阳电池的短波响应优于常规晶体硅太阳电池,效率提高了0.3%.