Ti-Si-Al-N纳米复合膜的组织与性能

• 作者: 尤建飞 李学梅 汪蕾 董松涛 许俊华
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: Ti-Si-Al-N复合膜 显微硬度 高温抗氧化性 磁控反应溅射法
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 144-148
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文

摘要

采用磁控反应溅射法制备了一系列Al含量不同的Ti-Si-Al-N纳米复合薄膜,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜及配套能量色散谱仪研究了Al含量对薄膜组织结构、硬度及高温抗氧化性的影响.结果表明:Ti-Si-Al-N薄膜点阵常数随Al含量的增加呈下降趋势;Al含量增加到6.48at%时出现h-AIN相,此时薄膜具有最高的硬度,约33GPa;薄膜的抗氧化温度提高到约900℃,但Al含量较高易导致薄膜晶粒在高温下长大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪蕾	江苏科技大学材料学院先进焊接技术重点实验室	4	11	2.0	3.0
2	许俊华	江苏科技大学材料学院先进焊接技术重点实验室	60	269	9.0	13.0
3	董松涛	江苏科技大学材料学院先进焊接技术重点实验室	8	64	4.0	8.0
4	尤建飞	江苏科技大学材料学院先进焊接技术重点实验室	2	9	1.0	2.0
5	李学梅	江苏科技大学材料学院先进焊接技术重点实验室	1	9	1.0	1.0