太阳电池用Ge抛光片清洗技术的研究进展

• 作者: 赵权
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳电池 Ge抛光片 清洗技术 进展
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(环保、洁净与清洗技术)
• 页码范围: 840-844
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 5363字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2009.09.005

摘要

存在的问题,并对其发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵权	中国电子科技集团公司第四十六研究所	30	136	6.0	9.0