Influence of the total gas flow rate on high rate growth microcrystalline silicon films and solar cells

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篇名	Influence of the total gas flow rate on high rate growth microcrystalline silicon films and solar cells
来源期刊	中国物理B（英文版）	学科
关键词	microcrystalline silicon high rate solar cell total gas flow rate
年，卷（期）	2009,（8）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	3563-3567
页数	5页	分类号
字数		语种	英文
DOI

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