金属铀表面铝薄膜生长行为的XPS研究

• 作者: 刘柯钊 杨江荣 罗丽珠 肖红
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 铀 铝薄膜 XPS 生长模式
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 快报
• 页码范围: 395-399
• 页数: 5页
• 分类号: O614.62
• 语种: 中文

摘要

在室温、超高真空条件下,采用Ar离子溅射沉积的方法在清洁金属铀表面沉积铝薄膜,并利用X射线光电子能谱分析技术原位观察铝薄膜的生长行为.结果表明,在薄膜生长过程中,铀铝界面存在较明显的互扩散行为,同时发生一定程度的相互作用,生成金属间化合物UAlx,导致铀、铝XPS特征谱发生明显变化.铀铝间的互扩散导致U 4f谱在380.4、392.7和404.2 eV处出现新的能量损失峰;而铀铝金属间化合物的生成导致Al 2p XPS谱峰向低能端偏移0.2 eV.随沉积时间的增加,能量损失峰强度逐渐增强,Al 2p峰逐渐向金属Al特征峰位置偏移,说明随铝沉积量的增加,铀铝间的扩散行为增强,铀铝相互作用生成的金属间化合物组分并非单一.在沉积过程中,铝薄膜以岛状方式生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘柯钊		36	150	8.0	9.0
2	肖红		26	59	5.0	6.0
3	罗丽珠		11	24	3.0	4.0
4	杨江荣		10	26	3.0	4.0