用于MEMS微电容检测的全差分放大器

• 作者: 孔德义 李庄 林丙涛 江儒龙 郭攀 鲍路路
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统电容传感器 全差分运放 共模反馈 低噪声
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 集成电路设计与开发
• 页码范围: 181-184,192
• 页数: 5页
• 分类号: TN722
• 字数: 1482字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2009.02.020

摘要

设计了一种用于MEMS电容传感器的低噪声低失调全差分运算放大器.微传感器传感电容一般很小,传感电容的变化更小.低噪声低失调放大器大大提高了整个传感器检测电路精度.该放大器采用连续时间共模反馈方法稳定共模输出、低阻结点斩波和动态匹配方法以期达到有稳定输出的低噪声低失调全差分放大器,给出基于HJTC 0.18 μtm CMOS 1P6M工艺的仿真结果,经过精心设计,各项指标达到或超过应用要求.