一种结合温差式和风速计式的新结构MEMS热式流量计

• 作者: 张晟 曾祥宇 陈则 黄宜平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 热式流量计 有限元分析 Matlab
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 934-940
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 4983字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.07.005

摘要

在器件结构上结合了温差式和风速计式两种检测原理,设计并制造了一种新型结构的MEMS热式流量计.在对温差式流量计的灵敏度、量程等特性进行了有限元仿真的基础上,优化设计了器件结构.同时,提出了一种利用Matlab/Simu-link时域仿真实现热源控制电路设计的方法.采用MEMS微加工技术研制了新型结构的热式流量计.测试结果表明该新设计比传统MEMS热式流量计灵敏度提高近4倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄宜平	复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室	39	270	10.0	14.0
2	曾祥宇	复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室	3	12	1.0	3.0
3	陈则	复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室	1	12	1.0	1.0
4	张晟	复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室	2	12	1.0	2.0