非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3 SAW基板

• 作者: 公勋 商晓莉 熊军 章德
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 物理学
• 关键词: 延迟温度系数(TCD) 非晶态TeO2薄膜 36°Y-X LiTaO3Love波 层状结构 声表面波(SAW)
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 声表面波技术
• 页码范围: 4-5,8
• 页数: 3页
• 分类号: O42
• 字数: 1726字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2009.01.002

摘要

研究了非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3层状结构的延迟温度系数(TCD),并计算了该结构中声表面波(SAW)的其他重要特性,如声波模式和机电耦合系数(k2).非晶态TeO2薄膜作为一种新型具有负温度系数的材料,当将其沉积于具有正温度系数的36°Y-X LiTaO3上时,在膜厚仅为传统SiO2薄膜的1/3情况下就可实现零延迟温度系数.另外,该结构中被利用的1阶Love波模式很纯,没有和其他模式明显的耦合,而且其k2高达8.61%.故此结构是一种具有广泛应用前景的新型复合SAW应用材料.