射频反应磁控溅射SnO2/MWCNTs 薄膜材料的气敏性能研究

• 作者: 林伟 陈文哲 黄世震
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2/MWCNTs材料 射频反应磁控溅射 气敏元件 NO2
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 771-775
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2466字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.06.002

摘要

采用射频反应磁控溅射方法制备掺杂多壁碳纳米管(MWCNTs)的snO2薄膜材料,并在此基础之上制作了N02气敏传感器,使用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)研究了SnO2/MWCNTs薄膜材料的表面形貌、物质组份材料特性,采用气敏元件测试系统来分析优越感的气敏效应,包括灵敏度、选择性、响应-恢复等特性,实验结果表明该气敏传感器对超低浓度(10ppb)NO2气体有很好的灵敏度,对干扰气体不敏感,提出了气敏机理解释实验现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄世震	福州大学材料科学与工程学院	93	587	13.0	19.0
7	林伟	福州大学材料科学与工程学院	121	547	12.0	17.0
13	陈文哲	福州大学材料科学与工程学院	121	1359	19.0	31.0