扫描探针显微镜针尖电容的测量与应用

• 作者: 古曦 孙浩明 曾慧中 王志红
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 微区电容 锁相放大 C-z曲线 C-V曲线
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 测试系统与模块化组件
• 页码范围: 163-165,169
• 页数: 4页
• 分类号: TN16
• 字数: 1793字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-7300.2009.02.047

摘要

本文基于扫描探针显微镜(SPM)建立了微区电容的低频测量系统,最小测量电容为30 aF,工作频率为20～100 kHz.试验测量了SPM导电针尖与金属样品之间的电容Ctip与它们之间的距离z关系曲线,并同时通过光学系统测量了针尖的关于频率的一次受力信号Fw与z的关系曲线.推导了两种测量方法所获曲线的内在关系,并获得了针尖与样品的表面势之差.并且,利用此系统测量了Al0.3Ga0.7N/GaN薄膜的微区C-V曲线,获得和宏观C-V曲线趋势一致的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志红	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	25	96	6.0	8.0
2	曾慧中	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	15	50	4.0	6.0
3	孙浩明	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	5	1.0	1.0
4	古曦	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	5	1.0	1.0