全金属微电极阵列细胞电融合芯片的研制

• 作者: 夏斌 曹毅 杨军 杨静 胡宁 郑小林
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 生物学
• 关键词: 微流控芯片 细胞融合 电融合 微电极
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 171-174
• 页数: 4页
• 分类号: Q813.2
• 字数: 3244字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.02.005

摘要

研制了以硅为基底、金属铜(Cu)材料作为微电极的细胞电融合芯片.在500 μm厚的硅基底上应用离子刻蚀技术,刻蚀出与所需得到的微电极相同形状的槽,然后高温下使硅片表层形成二氧化硅绝缘层,在刻蚀槽的底部形成种子层(Ta/Cu材料),通过电镀在槽中形成金属微电极,应用湿法刻蚀去除表层硅,得到纯金属微电极.铜金属微电极其导电率高,减小了电压衰减,使细胞电融合芯片中电场分布一致性好.该方法利用刻蚀的硅模具和电镀工艺解决了lift-off制造的金属微电极较薄的难题,分别采用热氧化和等离子增强化学气相淀积(PECVD)工艺制作的二氧化硅薄膜也增强了芯片抗腐蚀能力.在利用黄瓜叶肉细胞的细胞排队和融合实验中,实验效果比现有硅微阵列芯片要好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑小林	重庆大学生物工程学院	177	1880	21.0	34.0
2	杨军	重庆大学生物工程学院	56	744	15.0	25.0
3	杨静	重庆大学生物工程学院	27	240	8.0	14.0
4	夏斌	重庆大学生物工程学院	3	20	3.0	3.0
5	胡宁	重庆大学生物工程学院	37	242	8.0	15.0
6	曹毅	重庆大学生物工程学院	10	228	6.0	10.0