半导体器件生产中的静电与防护

• 作者: 崔波
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体器件 静电损伤 静电放电 防静电措施
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望
• 页码范围: 531-534
• 页数: 4页
• 分类号: TN303|O44
• 字数: 4373字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2009.06.003

摘要

绝大多数半导体器件都是静电敏感器件,而在生产过程中静电又是无处不在的,生产厂必须对静电防护措施给予充分的重视.生产厂应通过对器件采用防静电设计,并在生产过程中对静电采用泄漏、屏蔽和中和等控制原理,采取静电接地、穿戴防静电工作服、使用防静电台面、地面、工具及周转箱、防静电包装袋等措施,建立一个完整的静电防护体系.生产厂还应建立防静电系统的周期测试和监控制度,保证防静电设施起到有效的防护作用,避免和减少器件在生产过程中的静电损伤,交付用户高质量高可靠的产品.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔波	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	11	2.0	3.0