YZO薄膜的Sol-gel制备及其性能

• 作者: 张萌 肖宗湖 郭米艳
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: Sol-gel法 YZO薄膜 陈化时间 透光率
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 加工工艺与应用
• 页码范围: 83-86
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 3785字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.02.026

摘要

采用Sol-gel法在普通载玻片上制备YZO薄膜.研究了陈化时间和Y掺杂量对薄膜晶体结构、表面形貌和光学性能的影响,并分析和探讨了工艺参数与结构和性能之间的关系.实验结果表明,YZO薄膜为纤锌矿结构,呈c轴择优取向生长,平均透光率(380～760nm)超过85%.实验还发现,陈化时间存在最优值,YZO薄膜随着Y掺杂量的增加晶体结晶质量下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张萌	南昌大学材料科学与工程学院	69	569	12.0	20.0
2	肖宗湖	南昌大学材料科学与工程学院	6	73	4.0	6.0
3	郭米艳	南昌大学材料科学与工程学院	2	28	1.0	2.0