极限电流型氧传感器的多层共烧制备

• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧传感器 极限电流 多层共烧 响应时间
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 1533-1537
• 页数: 5页
• 分类号: TP211.2
• 字数: 1794字
• 语种: 中文

摘要

实验采用5%摩尔钇含量氧化锆流延生瓷片,经过厚膜丝网印刷,叠片热压,多层共烧制备了氧化锆极限电流型氧传感器;通过热膨胀仪、数字显微镜、扫描电子显微镜(SEM)等手段对其进行了物理性能的表征,并对该传感器在923 K温度氧浓度1100×10~(-6)～90%范围内的气敏特性、响应时间等进行了输出特性的研究.实验结果表明共烧制备的传感器在上述氧浓度范围内具有较好的电流平台,且极限电流与氧浓度存在正常扩散模型具有的线性关系;工作温度在923 K,氧浓度在21.24%和5.06%之间变化对应的传感器响应时间呈现出较好的重复性,且均在1 s以内.