一种基于高斯拟合的衍射光斑峰值位置的定位方法

• 作者: 惠梅 曲丹丹 程蓉蓉 赵跃进
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 成像光学 共相位误差 峰值位置 定位精度 分块镜
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 127-130
• 页数: 4页
• 分类号: TH706
• 字数: 3439字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2009.01.013

摘要

基于衍射理论的分块镜共相位误差检测中,衍射光斑最高峰峰值位置的定位精度直接影响最终的测量精度,峰值定位精度受限于CCD的像元尺寸.针对衍射光斑的特点及最高峰峰值位置亚像元的定位精度要求,提出了基于高斯拟合的最高峰峰值位置的定位方法.在采样间距为5μm,采样点在10个左右的情况下,定位精度高于600nm,与传统的质心法及Hilbert变换法相比,精度可以提高20%以上,且鲁棒性好.实验结果表明,该方法是一种有效的亚像元精度的峰值定位方法,为提高共相位误差的测量精度提供有效途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	惠梅	北京理工大学信息科学技术学院光电工程系	12	36	4.0	5.0
2	赵跃进	北京理工大学信息科学技术学院光电工程系	73	640	13.0	21.0
3	程蓉蓉	北京理工大学信息科学技术学院光电工程系	3	23	3.0	3.0
4	曲丹丹	北京理工大学信息科学技术学院光电工程系	2	5	1.0	2.0