在柔性衬底上制备透明导电薄膜ZnO:Zr

• 作者: 刘汉法 张化福 类成新 袁玉珍 袁长坤
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 掺锆氧化锌薄膜 柔性衬底 磁控溅射 透明导电薄膜
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(新型半导体材料)
• 页码范围: 153-157
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2|TN304.055
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2009.02.013

摘要

采用射频磁控溅射法在室温柔性衬底PET上制备了掺锆氧化锌(ZZO)透明导电薄膜.利用不同方法提高了ZZO薄膜的电阻率而未使其可见光透过率降低.X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表明,ZZO薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜.在有机衬底和玻璃衬底上制备ZZO薄膜的择优取向不同,前者为(100)晶面,而后者为(002)晶面.在有ZnO缓冲层的PET衬底上制备的ZZO薄膜电阻率比直接生长在玻璃衬底样品上的小.通过优化参数,在PET衬底上制备出了最小电阻率为1.7×10-3Ω·cm、可见光透过率超过93%的ZZO薄膜.实验表明,镀膜之前在柔性衬底上沉积ZnO缓冲层能有效地提高ZZO薄膜的质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁玉珍	山东理工大学物理与光电信患技术学院	26	159	7.0	11.0
2	刘汉法	山东理工大学物理与光电信患技术学院	57	316	11.0	13.0
3	张化福	山东理工大学物理与光电信患技术学院	52	292	11.0	13.0
4	类成新	山东理工大学物理与光电信患技术学院	48	201	8.0	10.0
5	袁长坤	山东理工大学物理与光电信患技术学院	23	126	6.0	10.0