电容式加速度计的数字化处理电路及其与模拟电路的比较

• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 加速度计 直接数字频率合成 现场可编程门阵列 相位噪声
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1562-1567
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2950字
• 语种: 中文

摘要

介绍了对一种电容式MEMS加速度计处理电路的数字化工作,并对数字式加速度计系统的各个组成模块进行了分析,并与模拟处理电路的相应模块进行比较,给出了制约数字和模拟加速度计性能的因素.实验测试结果表明,数字式加速度计的零偏稳定性达到了0.21 mgn,相对模拟加速度计的零偏稳定性(1.02 mgn)提高了约5倍,噪声降低了3/5,数字式加速度计系统的性能有了很大的改进.这是由于数字系统采用了先进的解调算法,使得载波的信噪比有所提高,相位噪声有所降低.