无掩模多束SPPs干涉光刻成像仿真软件研究

• 作者: 张志友 杜惊雷 牛晓云 王景全 郑宇 金凤泽
• 来源期刊: 四川大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 多束SPPs 干涉光刻 模拟软件 混合编程
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1423-1428
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1
• 字数: 2366字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2009.05.40

摘要

多束SPPs干涉光刻是一种可制作纳米尺度光子晶体器件的新型微加工方法,目前尚未见对多束SPPs干涉光刻过程进行模拟分析的专门软件.在分析SPPs激励和传输机理基础上,建立多束SPPs干涉成像模型,并采用VC和Matlab库函数混合编程编制了可计算多束SPPS干涉光刻成像的仿真软件.模拟和分析表明,该模型及软件计算准确、快速,达到预期效果,为实现无掩模SPPs干涉光刻全过程模拟和曝光实验研究的开展提供了技术支撑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜惊雷	四川大学物理科学与技术学院	77	611	13.0	18.0
2	郑宇	四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所	6	11	2.0	2.0
6	张志友	四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所	23	73	5.0	7.0
7	金凤泽	四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所	3	17	2.0	3.0
8	王景全	四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所	5	26	3.0	5.0
9	牛晓云	四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所	3	9	2.0	3.0