抗冲击耐高温微加速度传感器设计

• 作者: 周新伟 徐春晓 房立清
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 高温 抗过载 抗冲击 微加速度传感器
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 73-76
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2154字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2009.03.024

摘要

设计了一种耐高温(400℃)、抗过载(20000g.)的SOI微加速度传感器的结构,介绍了传感器的制作工艺,并应用ANSYS软件对其进行了仿真,讨论了传感器的量程、抗冲击能力、灵敏度、横向灵敏度、线性度等各项指标,证明该微传感器满足了设计时所提出的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	房立清	军械工程学院火炮工程系	48	240	7.0	13.0
2	周新伟	军械工程学院火炮工程系	5	21	2.0	4.0