改进Sol-Gel法制备Y掺杂BST薄膜表面结构及介电性能研究

• 作者: 傅向军 廖家轩 张佳 潘笑风 王洪全 田忠
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钇掺杂 钛酸锶钡薄膜 改进溶胶-凝胶法 表面结构 介电调谐性能
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 387-391
• 页数: 5页
• 分类号: TN38
• 字数: 2952字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1077.2009.00387

摘要

通过在溶胶前驱液中添加聚乙烯吡咯烷酮和在底电极Pt上形成界面仔晶层,对溶胶-凝胶(Sol-Gel)法进行了改进,并以此在Pt/Ti/SiO2/Si上制备了钇(Y)掺杂和非掺杂的Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究了薄膜的表面结构和介电调谐性能.X射线光电子能谱表明,BST薄膜表面元素都以两种或三种化学态出现,一种对应钙钛矿结构,其余的对应非钙钛矿结构.和非掺杂相比,除了Ti2p外,Y掺杂对Ba3d、Sr3d和O1s具有明显的影响,Ba、Sr和O原子在非钙钛矿结构中的含量分别由41%、33%和51%减少到26%、29%和40%.扫描电镜和原子力显微镜表明,Y掺杂BST薄膜光滑致密、无裂纹和无缩孔.40V偏压和100kHz频率下的电压-电容曲线表明,Y掺杂提高了薄膜的介电调谐性能,调谐率大于43%、损耗0.0216及优化因子20.对Y掺杂改性机理也进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田忠	电子科技大学电子科学技术研究院	37	160	7.0	11.0
2	廖家轩	电子科技大学电子科学技术研究院	22	106	7.0	8.0
3	潘笑风	电子科技大学电子科学技术研究院	8	67	6.0	8.0
4	张佳	电子科技大学电子科学技术研究院	9	68	6.0	8.0
5	傅向军	电子科技大学电子科学技术研究院	8	67	6.0	8.0
6	王洪全	电子科技大学电子科学技术研究院	8	67	6.0	8.0