光学干涉技术在晶体生长研究中的应用

• 作者: 卢慧甍 叶雅静 尹大川 张辰艳 李海生 罗慧敏 鹿芹芹
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 晶体生长 干涉法 晶体微观形貌 生长机理
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 新材料新技术
• 页码范围: 77-81
• 页数: 5页
• 分类号: TB3
• 字数: 6119字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.03.017

摘要

利用光学干涉法对晶体生长过程中所引起的溶液折射率微小变化进行监测,分析所采集到的干涉图像,可得出与光程差相关的溶液浓度场及温度场的精确分布、晶体微观形貌变化及溶液对流等信息,对晶体生长机理研究有重要的意义.回顾了干涉技术测量晶体生长参数的基本原理,同时综述了近年来干涉技术在晶体生长研究中的应用及发现,并分析了该技术在晶体生长研究领域中的发展方向.