TiN/Ti多层膜韧性对摩擦学性能的影响

• 作者: 邵天敏 龚海飞
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: TiN/Ti 多层膜 韧性 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 表面工程
• 页码范围: 26-31
• 页数: 6页
• 分类号: TH117
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2009.10.006

摘要

考察了TiN/Ti多层膜韧性对其摩擦学性能的影响.采用磁过滤阴极弧沉积的方法制备了具有不同Ti子层厚度的TiN/Ti多层膜.用透射电镜对其层状结构及子层厚度进行了观察和分析,分别用Rockwell硬度计和UMT摩擦磨损试验机,进行了压痕测试和摩擦磨损实验.结果表明,TiN/Ti多层膜中Ti子层的加人显著提高了多层膜的韧性,相对TiN单层薄膜,当载荷较大时,多层膜的耐磨性有明显的改善.结合实验结果,讨论了TiN/Ti多层膜韧性对其耐磨性的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵天敏	清华大学摩擦学国家重点实验室	38	479	13.0	20.0
2	龚海飞	清华大学摩擦学国家重点实验室	3	55	3.0	3.0