铁电阴极电子发射实验研究

• 作者: 张树人 白书欣 郭曙光 陈忠道
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电阴极材料 电子发射 发射电流密度 真空度
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: TM22+.1
• 字数: 2158字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2009.10.016

摘要

为提高铁电阴极材料的电子发射电流密度及电子束品质,采用等静压成型工艺制备PZT铁电阴极样品,研究了真空度、温度、极间距、收集极和极间铜网等测试条件对其电子发射性能的影响.结果表明:利用等静压成型工艺制备样品,并进行硅橡胶绝缘层保护,在真空度高于10–3 Pa,极间距为2.5 mm,并在极间添加铜网,采用石墨收集极情况下进行电子发射实验,可获得铁电阴极样品测试最佳效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张树人	电子科技大学微电子与固体电子学院	187	1176	16.0	24.0
2	白书欣	国防科技大学航天与材料工程学院	57	464	11.0	19.0
3	郭曙光	电子科技大学微电子与固体电子学院	12	31	4.0	5.0
4	陈忠道	国防科技大学航天与材料工程学院	2	1	1.0	1.0