衔铁平行运动的磁微执行器Pull-in机理分析

• 作者: 方玉明 李伟华
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 磁 微执行器 Pull-in
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 471-475
• 页数: 5页
• 分类号: TN402:TN405
• 字数: 3269字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.04.006

摘要

与静电微执行器类似,磁微执行器中也存在重要的Pull-in失稳问题.但相对于静电微执行器详尽的模型相比,研究磁微执行器的文献很少.对于宏观器件,由于磁芯磁阻可以忽略,所以可利用电磁类比,得到Pull-in失稳参数.而对于微观器件,磁芯磁阻不可以忽略.不可利用电磁类比.基于小信号模型对衔铁平行运动的磁微执行器Pull-in的失稳现象首先进行了分析和建模,考虑了微磁芯磁阻,在建立磁微执行器动态小信号模型的基础上,分析发现衔铁平行运动的磁微执行器中不存在Pull-in现象.然后又采用能量法研究了同样的Pull-in失稳问题,得出了和力法相同的结论.最后,给出了一个分析实例,以反映微磁芯磁阻对Pull-in的影响,同时证实了衔铁平行运动的磁微执行器中不存在Pull-in现象的结论.结论对于磁微执行器的设计具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方玉明	南京邮电大学电子科学与工程学院	52	140	6.0	8.0