sol-gel 法制备ATO薄膜的结构与光学性能研究

• 作者: 周超 曾凡菊 李玲
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: sol-gel法 ATO薄膜 紫外-可见光谱 光致发光(PL)
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 27-29
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.55
• 字数: 2430字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2009.12.008

摘要

采用sol-gel法在玻璃衬底上制备ATO(SnO_2:Sb)薄膜,并用XRD、SEM、紫外-可见光谱和光致发光对薄膜进行了表征,研究了ATO薄膜的结构和光学性能.结果表明:ATO薄膜微晶晶相与SnO_2一致,仍然是四方金红石结构;ATO薄膜在可见光区的透过率超过80%,当r(Sb:Sn)为0.15时,ATO薄膜的透过率最高达87%;ATO薄膜在344～380 nm处有一个很强的紫外-紫光发射带,随着Sb掺杂量的增加,发射峰逐渐变强,在r(Sb:Sn)为0.25时,发射峰相对强度达302.4.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李玲	暨南大学物理系	78	424	11.0	15.0
2	周超	暨南大学物理系	6	42	4.0	6.0
3	曾凡菊	暨南大学物理系	3	6	1.0	2.0