椭球形微波等离子体金刚石膜沉积装置与金刚石膜的制备

• 作者: 于盛旺 唐伟忠 姜春生 王凤英
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 数值模拟 椭球形谐振腔 微波等离子体
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 20-24
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

摘要

对椭球形谐振腔式微波等离子体(MPCVD)金刚石膜沉积装置的谐振腔进行了模拟,获得了谐振腔中的电场和等离子体分布.运用自行设计和建立的椭球形谐振腔式微波等离子体装置,沉积了纳米和微米尺度的金刚石膜.对金刚石膜的各种性能进行了检测.结果表明,所建成的椭球形谐振腔式的MPCVD金刚石膜沉积装置,可实现微米和纳米尺度不同品质金刚石膜的沉积.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
2	姜春生	北京科技大学材料科学与工程学院	8	22	3.0	4.0
3	王凤英	北京科技大学材料科学与工程学院	7	31	4.0	5.0
4	于盛旺	北京科技大学材料科学与工程学院	10	79	5.0	8.0