基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
研究了柠檬酸胺-1-羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中Ni-W的力学性能.通过紫外曝光的光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术制备出微拉伸试样和单轴微拉伸测试系统进行拉伸试验.结果表明:在Ni-W薄膜试样尺寸为5μm×50μm×100μm条件下,其杨氏模量约为100.4GPa,抗拉强度为1.96GPa,应变约为3.6%.
推荐文章
Ni-W合金基带的织构
放电等离子体烧结
Ni-W基带
冷轧织构
再结晶织构
电沉积Ni-W合金在NaCl溶液中的腐蚀行为
Ni-W合金
腐蚀行为
电化学阻抗谱
Ni-W合金镀层在电池外壳成形模中的应用
电池外壳
成形凸模
Ni-W合金镀层
Ni-W纳米结构梯度镀层耐热及高温氧化性能
电沉积
Ni-W非晶态合金
梯度功能材料
耐热性
抗高温氧化性
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 MEMS中Ni-W合金薄膜力学性能的研究
来源期刊 传感器与微系统 学科 工学
关键词 微机电系统 Ni-W合金 电沉积 力学性能 拉伸试验
年,卷(期) 2009,(8) 所属期刊栏目 研究探讨
研究方向 页码范围 46-48
页数 3页 分类号 TG115
字数 2505字 语种 中文
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (3)
共引文献  (3)
参考文献  (8)
节点文献
引证文献  (1)
同被引文献  (6)
二级引证文献  (1)
1997(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1998(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1999(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2003(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
2004(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
2007(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
2008(2)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(0)
2009(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2017(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2018(1)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
微机电系统
Ni-W合金
电沉积
力学性能
拉伸试验
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感器与微系统
月刊
1000-9787
23-1537/TN
大16开
哈尔滨市南岗区一曼街29号
14-203
1982
chi
出版文献量(篇)
9750
总下载数(次)
43
总被引数(次)
66438
相关基金
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:http://www.863.org.cn
项目类型:重点项目
学科类型:信息技术
论文1v1指导