硬质合金表面多弧离子镀(Ti,Al,Zr,Cr)N多元氮化物膜

• 作者: 刘常升 张钧 赵时璐
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 TiN基硬质膜 显微硬度 结合力 抗高温氧化性
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 15-20
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文

摘要

采用fri-Al-Zr合金靶和Cr靶,用多弧离子镀技术在WC-8%Co硬质合金基体上沉积(Ti,A1,Zr,Cr)N多元氮化物膜.分析了薄膜的成分、形貌、粗糙度和结构,研究了薄膜的显微硬度、膜/基结合力和抗高温氧化性能.结果表明,获得的多元氮化物膜仍是BI-NaCI型TiN面心立方结构;适当控制偏压条件可以改善薄膜的表面形貌;在不同的偏压条件下,(Al+zr+Cr)/(Ti+Al+Zr+Cr)的成分比为0.41～0.43,当其比值趋于0.4时,薄膜的显微硬度和膜/基结合力达到最大值3600 HV0.Ol和200 N;同时薄膜的抗高温氧化性能提高,最高温度可达700℃左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘常升	东北大学材料各向异性与织构工程教育部重点实验室	252	2803	27.0	39.0
2	张钧	东北大学材料各向异性与织构工程教育部重点实验室	49	208	8.0	12.0
4	赵时璐	东北大学材料各向异性与织构工程教育部重点实验室	5	56	4.0	5.0