氧化锌薄膜场效应晶体管的制备及工艺研究

• 作者: 晏伯武 王秀章 郭建林
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌 薄膜 p型掺杂 制备
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 本期专题:光电功能材料
• 页码范围: 96-99
• 页数: 4页
• 分类号: TN373
• 字数: 4651字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.05.024

摘要

场效应晶体管是现代微电子技术的重要组成部分.为制备氧化锌薄膜晶体管,分析了氧化锌的p型、n型掺杂特性,对p型掺杂进行了实验分析和理论探讨,比较了各种制备氧化锌薄膜晶体管的工艺特点,展示了ZnO在未来电子和光电子领域的潜在应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	晏伯武	黄石理工学院计算机学院	43	212	8.0	13.0
2	王秀章	湖北师范学院物理与电子科学学院	32	75	4.0	6.0
3	郭建林	黄石理工学院环境工程学院	11	125	6.0	11.0