球面投影光刻物镜的设计

• 作者: 张雨东 戴云 王建 董小春 赵立新 饶学军 高洪涛
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 球面光刻 投影物镜 DMD 光学设计
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 光学设计
• 页码范围: 93-97
• 页数: 5页
• 分类号: TN305|TB851
• 字数: 2925字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2009.01.018

摘要

针对人工晶体或隐形眼镜的面形上连续浮雕结构加工的特点,本文介绍了基于空间光调制器(DMD)曲面投影光刻物镜系统的设计方法.根据其成像面为曲面的特点,根据光学设计理论多次利用弯向物方的弯月形负透镜结构进行场曲校正,同时运用光的衍射原理优化设计物镜系统的数值孔径以消除DMD投影过程中的栅格效应. 运用ZEMAX工程光学设计软件对系统进行了模拟、优化,并对优化后的结果进行了分析.对于设计实例利用上述设计原则给出了设计结果,工作波长为g线(峰值波长λ=436nm),像面曲率r=22.5mm,视场φ6mm,数值孔径NA=0.1,分辨力为7.8 μm(64Ip/mm)时的光学调制传函值>0.8,畸变<±0.05%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王建	中国科学院光电技术研究所	154	3577	30.0	54.0
2	张雨东	中国科学院光电技术研究所	66	505	12.0	20.0
3	饶学军	中国科学院光电技术研究所	19	397	10.0	19.0
4	戴云	中国科学院光电技术研究所	27	116	6.0	10.0
5	赵立新	中国科学院光电技术研究所	38	346	12.0	17.0
6	高洪涛	中国科学院光电技术研究所	17	72	6.0	8.0
7	董小春	中国科学院光电技术研究所	20	154	8.0	11.0