化学染色法测量B,Al及P扩散结深

• 作者: 佟丽英 史继祥 李亚光 王聪 赵权
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扩散结深 染色液 扩展电阻探针法
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 封装、测试与设备
• 页码范围: 1213-1215
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.07
• 字数: 1708字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2009.12.016

摘要

采取化学染色法对B,Al和P杂质扩散形成的结深进行检测,通过实验不同浓度染色液的腐蚀特性,选择易于控制和重复性好的染色腐蚀液.同时采用扩展电阻法对同一个样品的结深进行测试,以扩展电阻法所得结果为标准,与染色法的测量结果进行对比,根据测试结果与理论分析,对染色法的测试结果进行修正,确定P扩散结深的测试系数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵权	中国电子科技集团公司第四十六研究所	30	136	6.0	9.0
2	佟丽英	中国电子科技集团公司第四十六研究所	19	22	3.0	3.0
3	史继祥	中国电子科技集团公司第四十六研究所	8	5	2.0	2.0
4	李亚光	中国电子科技集团公司第四十六研究所	3	6	1.0	2.0
5	王聪	中国电子科技集团公司第四十六研究所	18	97	6.0	9.0