氧气的相对流量对磁控溅射制备TiO2薄膜性质的影响

• 作者: 岳春英 张明福 沈海涛 王晓红 王野 韩杰才
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 物理学
• 关键词: TiO2薄膜 磁控溅射 蓝宝石
• 年，卷（期）: 2009,（z1）
• 所属期刊栏目: 专题论文
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: O782.6
• 字数: 2377字
• 语种: 中文

摘要

本文研究了氧气相对流量对蓝宝石衬底上用磁控溅射制备TiO2薄膜性质的影响,并采用XRD、XPS、AFM等检测手段对其进行了结构、成分、表面形貌和透过率表征.结果表明,氧气的相对流量的变化对TiO2薄膜的物相、表面形貌和近红外透过率有显著影响,对TiO2薄膜中Ti2p3/2的结合能影响不大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩杰才		298	4663	35.0	52.0
2	张明福		51	720	15.0	24.0
3	王野		15	56	5.0	7.0
4	王晓红		100	841	16.0	25.0
5	沈海涛		2	17	1.0	2.0
6	岳春英		1	0	0.0	0.0