微透镜阵列的计量标准化

• 作者: 刘晓军 胡凯 蒋向前
• 来源期刊: 计量技术
• 关键词: 微光学元件 检测 几何参数
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 字数: 3409字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2009.09.004

摘要

分析了连续表面微透镜阵列的几何参量和光学性能的检测方法,介绍了最新的ISO14480系列标准.针对典型的微镜阵列元件,给出其详细结构尺寸,从而建立了一套通过测试元件的几何参量、加工误差来综合评估微光学元件性能的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓军	华中科技大学机械学院仪器系	60	357	11.0	15.0
2	胡凯	华中科技大学机械学院仪器系	10	76	5.0	8.0