高温氧化扩散炉温控系统设计

• 作者: 尹文生 张明超 朱煜 杨一博 王春洪
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扩散炉 温度控制 PID自整定 轨迹规划
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 封装、测试与设备
• 页码范围: 88-91
• 页数: 4页
• 分类号: TP274.4|TN305
• 字数: 1878字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2009.01.025

摘要

针对半导体行业高温氧化扩散炉设备设计、实现了一套炉温控制软硬件系统.硬件系统由多路开关、温度变送器、工控机、信号输入输出板卡组成.在此硬件基础上根据工艺要求设计控温软件的结构与算法,改进了PID参数整定算法,引入了轨迹规划算法,完成了多段炉体的控温、斜变升温、PID参数整定和自动温区分布.实验表明,在此系统控制下,炉体能够迭到高温氧化扩散工艺的需求,并且系统的扩展性、稳定性、精确性等方面得到了提高.此温度控制系统已经应用于工业用高温氧化扩散炉设备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹文生	清华大学精密仪器与机械学系	39	623	12.0	24.0
2	朱煜	清华大学精密仪器与机械学系	99	1312	17.0	33.0
3	杨一博	清华大学精密仪器与机械学系	3	16	2.0	3.0
4	王春洪	清华大学精密仪器与机械学系	7	117	4.0	7.0
5	张明超	清华大学精密仪器与机械学系	1	2	1.0	1.0