硅太阳电池用MgF2/ZnS双层减反射薄膜的制备及表征

• 作者: 任丙彦 励旭东 周春兰 孙秀菊 李海玲 王文静 赵雷
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnS薄膜 MgF2薄膜 减反射薄膜 真空热蒸发
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 页码范围: 547-551
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2325字
• 语种: 中文

摘要

采用真空热蒸发技术,制备出了性能优良的MgF2/ZnS双层减反射薄膜.采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪对薄膜的形貌以及结晶形态进行分析,采用椭圆偏振仪测试薄膜的折射系数及厚度,利用反射谱对双层减反射薄膜的减反射性能进行了表征.研究表明:衬底温度为200 ℃时薄膜附着力、结晶态良好;蒸发速率影响薄膜的表面形态;MgF2/ZnS厚度为110 nm/35 nm时具有最佳减反射效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任丙彦		31	241	9.0	14.0
2	励旭东		15	191	8.0	13.0
3	周春兰	中国科学院电工研究所	19	245	8.0	15.0
4	赵雷	中国科学院电工研究所	25	210	9.0	14.0
5	王文静	中国科学院电工研究所	32	266	8.0	16.0
6	李海玲	中国科学院电工研究所	12	163	6.0	12.0
7	孙秀菊	中国科学院电工研究所	1	11	1.0	1.0