梳齿式微机械加速度计的研制

• 作者: 刘云峰 李童杰 董景新
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 梳齿式 微机械加速度计
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 320-324
• 页数: 5页
• 分类号: TH824.4
• 字数: 2722字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.03.006

摘要

微机械加速度计作为微机电系统(MEMS)的一个重要产品,目前已经得到了广泛应用.本文首先从整体上提出了微机械加速度计的工作原理和数学模型,并着重讨论了各个部分之间的关系;然后根据敏感元件的特性,对伺服回路的几个关键参数,即预载电压、PID校正参数和反馈增益,进行了分析;本文最后给出了一种加速度计整体性能的测试结果,结果表明:微机械加速度计的量程为±15gn,非线性度为0.041 9%,阈值为0.15 mgn,2 h稳定性误差为0.084 5 mgn,逐次启动重复性误差为0.156 mgn.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董景新	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	741	14.0	20.0
2	刘云峰	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	51	405	12.0	16.0
3	李童杰	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	8	75	5.0	8.0