柔性-微环光波导耦合结构的集成光学加速度传感器

• 作者: 张彤 张晓阳 胡德文 齐振恒
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微环光波导 柔性光波导 耦合比 加速度传感 光学谐振腔
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 337-339
• 页数: 3页
• 分类号: V241.5|TH774.5
• 字数: 2318字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.03.009

摘要

给出了一种利用柔性-微环光波导耦合结构的集成光学加速度传感器.通过聚合物材料设计的柔性光波导,在外力作用下产生形变.该形变改变了柔性光波导与微环光波导的层间距,从而改变波导耦合器的耦合比,使得微环光波导谐振腔输出谱特性发生相应改变.继而有效地实现了加速度的传感.本文给出了这种新型的设计,推导了其检测原理并同时分析了其灵敏度的影响因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡德文	国防科技大学机电工程与自动化学院	92	1254	16.0	32.0
2	张彤	东南大学电子科学与工程学院	89	363	10.0	14.0
3	张晓阳	东南大学电子科学与工程学院	16	188	9.0	13.0
4	齐振恒	东南大学电子科学与工程学院	1	2	1.0	1.0