一种闭环微纳定位扫描系统设计

• 作者: 纪海燕 邹文栋 魏永强
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷 白光干涉 微纳定位扫描系统 80C196KC Fuzzy-PID 非线性处理
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 95-97,101
• 页数: 4页
• 分类号: TN722.7
• 字数: 2230字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2009.11.031

摘要

针对小推力压电陶瓷的特性,提出了一种闭环微纳定位扫描系统设计.该系统以单片机80C196KC为核心,使用12位A/D转换器MAXl20和12位D/A转换器DA7521做D/A转换,模拟驱动部分采用前置低压误差运放和后置高压精密运放组成双级放大模块;控制部分采用Fuzzy-PID复合控制算法进行非线性处理,很好地改善了压电陶瓷的迟滞、蠕变、非线性等不足,且提高了控制系统的精度.将本系统应用于白光相移干涉检测,实验结果表明:闭环电压控制的最大误差为18 mV,置位重复精度为6 nm,系统相对误差为0.15%;在位移量为10μm的时间-位移阶跃响应曲线中阶越响应时间约为20ms,且在电压为80 V的蠕动曲线中,3 min内的蠕变为3.6%,3 min以后变化开始缓慢.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹文栋	南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室	57	557	12.0	22.0
2	魏永强	南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室	4	46	2.0	4.0
3	纪海燕	南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室	5	37	2.0	5.0