Ag掺杂ZnO薄膜结构和光学特性研究

• 作者: 程文娟 马学鸣 鲁萌萌
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Ag掺杂 ZnO薄膜 脉冲激光沉积 荧光特性
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 页码范围: 870-875
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 4074字
• 语种: 中文

摘要

采用脉冲激光沉积技术制备出了Ag掺杂的ZnO薄膜.研究了Ag含量、衬底温度及氧压对ZnO结构和光学性能的影响.结果表明:Ag以替位形式存在于ZnO晶格中,Ag掺杂浓度较低时,样品具有高度c轴择优取向.衬底温度越高,薄膜的结晶质量越好,光学带隙越接近纯ZnO的带隙,而其紫外荧光峰在衬底温度为300 ℃时最强.氧压为10 Pa时,薄膜的结晶质量最好,紫外峰最强,其带隙则随氧压的增大呈先变窄后加宽的趋势.