平面工艺SnO2薄膜甲醛气敏元件的研究

• 作者: 张鹏 王兢
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2薄膜 溶胶凝胶 平面工艺 气敏元件
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2442字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.01.002

摘要

用ANSYS仿真软件得到最优化的气体传感器电极结构,采用平面工艺在硅衬底上制作了3 mm×2 mm的直热式Sn02薄膜甲醛气敏元件.用溶胶凝胶(sol-gel)法制备了掺Pd的纳米SnO2薄膜,材料的平均粒径约为15nm.元件的最佳工作温度约为230℃,在该加热温度下测试了元件对体积分数为50×10-9的甲醛气体的灵敏度以及响应恢复时间.实验证明:元件的灵敏度随气体浓度的增大而增大,元件的响应和恢复时间均约为50s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王兢	大连理工大学电信学院	81	398	9.0	14.0
2	张鹏	大连理工大学电信学院	55	324	10.0	15.0