介观压阻型硅微压力传感器仿真分析

• 作者: 温廷敦 王伟
• 来源期刊: 电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 介观压阻效应 压力传感器 有限元 灵敏度
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 技术研发
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 3258字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0755.2009.04.020

摘要

为了突破传统机电转换局限,提高压力传感器灵敏度,提出以介观压阻效应[1]为工作原理制作高灵敏度的硅微压力传感器,设计了一种圆形的平膜片结构,建立其三维实体有限元模型, 通过理论分析与仿真计算,得出该结构的尺寸对其灵敏度、固有频率、谐振频率及模态振型的影响规律,为此类压力传感器结构的优化设计提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王伟	中北大学微米纳米技术研究中心	50	203	8.0	10.0
2	温廷敦	中北大学微米纳米技术研究中心	65	169	7.0	10.0