MEMS微电机综述

• 作者: 刘凯 张卫平 张忠榕 戴福彦 肖奇军 陈文元 马高印
• 来源期刊: 微电机
• 学科: 工学
• 关键词: 微电机 微机电系统 微机械 驻极体 分子马达
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 61-64,68
• 页数: 5页
• 分类号: TM38
• 字数: 3244字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6848.2009.08.018

摘要

介绍了驻极体微电机、静电感应微电机、电晕微电机、磁阻微电机、永磁微电机、超声波微电机、分子马达和纳米马达等几种微电机的结构、原理、技术指标和国内外发展应用概况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖奇军	上海交通大学微纳米科学技术研究院	7	22	2.0	4.0
2	陈文元	上海交通大学微纳米科学技术研究院	56	274	10.0	14.0
3	张卫平	上海交通大学微纳米科学技术研究院	57	414	10.0	19.0
4	刘凯	上海交通大学微纳米科学技术研究院	35	269	10.0	15.0
5	戴福彦	上海交通大学微纳米科学技术研究院	1	15	1.0	1.0
6	马高印	上海交通大学微纳米科学技术研究院	1	15	1.0	1.0
7	张忠榕	上海交通大学微纳米科学技术研究院	1	15	1.0	1.0