纳米工作台定位控制研究

• 作者: 陆林海 韩颖
• 来源期刊: 机械制造
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米工作台 精密定位 宏运动 微运动
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 可靠性技术研究
• 页码范围: 7-9
• 页数: 3页
• 分类号: TP202+.2|TP23
• 字数: 1936字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-4998.2009.01.003

摘要

介绍了基于宏微两级驱动方式的纳米工作台定位系统,重点在时宏微动态切换时宏动台固定与否对其自身振动情况的影响进行测试分析.研究表明,宏动台被锁定后可以明显减小其台面振动幅度,对后面微动台以及整个系统定位精度的提高起着关键性作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆林海	上海大学机电工程与自动化学院	15	154	5.0	12.0
2	韩颖	上海大学机电工程与自动化学院	5	3	1.0	1.0