金刚石膜电化学对LCD上残留有机物清洗的研究

• 作者: 刘玉岭 梁蒲 陈婷 魏恒
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电化学 液晶显示器 清洗 表面污染 有机物
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(环保、洁净与清洗技术)
• 页码范围: 837-839
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.97|T914.4
• 字数: 1851字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2009.09.004

摘要

随着微电子技术的发展,对清洗技术的要求也越来越严格.LCD由于低功耗、高画质和轻巧等优势,已作为平板显示领域的主导技术.采用金刚石膜电化学的强氧化物质对液晶盒上的残留有机物进行清洗,通过实验得出较好的清洗的氧化浓度和清洗时间,通过显微镜观察,电化学清洗能够有效去除有机物污染,对比了一般清洗与电化学清洗效果,得出了更适合清洗残留有机物的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘玉岭	河北工业大学微电子技术与材料研究所	263	1540	17.0	22.0
2	魏恒	河北工业大学微电子技术与材料研究所	3	17	2.0	3.0
3	陈婷	河北工业大学微电子技术与材料研究所	3	23	2.0	3.0
4	梁蒲	河北工业大学微电子技术与材料研究所	3	11	2.0	3.0